UVW平臺優(yōu)勢

1、這是一種可以實現(xiàn)以平面上任意一點(diǎn)為中心，進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的裝置，并可沿著任意的方向平移。
    此平臺和視覺CCD糾偏系統(tǒng)對接在一起，可以很快完成高精度的糾偏工作，重復(fù)定位精度一般可達(dá)±1μm；

UVW平臺和xyθ平臺對比性：

1、控制精度高于xyθ平臺；
2、UVW平臺可以平面上任意一點(diǎn)為中心做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，而xyθ平臺由于僅僅依靠一個電機(jī)的轉(zhuǎn)動控制，所以旋轉(zhuǎn)中心必須是固定在平臺上某處，且必須隨平臺一同運(yùn)動。
3、基于第二點(diǎn)的區(qū)別，顯然UVW平臺是需要一個絕對坐標(biāo)系作為參考系，其旋轉(zhuǎn)中心才有意義；而xyθ平臺則必須是一個隨平臺動的坐標(biāo)系作為參考系，控制計算方法便完全不一樣。