當(dāng)前最新式供給了一種曝光機(jī)自動(dòng)XYY對(duì)位平臺(tái)體系，包含了對(duì)位模組固定板、運(yùn)動(dòng)板、X方向移動(dòng)設(shè)備、榜首Y方向移動(dòng)設(shè)備和第二Y方向移動(dòng)設(shè)備，X方向移動(dòng)設(shè)備、榜首Y左右方向移動(dòng)設(shè)備和第二左右Y方向移動(dòng)設(shè)備別離與對(duì)應(yīng)對(duì)位模組固定板、對(duì)該運(yùn)動(dòng)板活動(dòng)銜接，

       還包含設(shè)置在該對(duì)位模組固定板上的X方向動(dòng)力設(shè)備、榜首Y方向動(dòng)力設(shè)備和第二Y方向動(dòng)力設(shè)備，X方向動(dòng)力設(shè)備帶動(dòng)X方向移動(dòng)設(shè)備沿X方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，X方向移動(dòng)設(shè)備帶動(dòng)該運(yùn)動(dòng)板沿X方向往復(fù)移位，榜首Y方向動(dòng)力設(shè)備帶動(dòng)榜首Y方向移動(dòng)設(shè)備沿Y方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，榜首Y方向移動(dòng)設(shè)備帶動(dòng)該運(yùn)動(dòng)板沿Y方向往復(fù)移位，第二Y方向動(dòng)力設(shè)備帶動(dòng)第二Y方向移動(dòng)設(shè)備沿Y方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，第二Y方向移動(dòng)設(shè)備帶動(dòng)該運(yùn)動(dòng)板沿Y方向往復(fù)移位。

        X方向移動(dòng)設(shè)備包含X方向移動(dòng)板，X方向移動(dòng)板與該運(yùn)動(dòng)板經(jīng)過軸承活動(dòng)銜接，X方向移動(dòng)板的下端面上設(shè)置有滑軌和滑槽，該滑軌沿該對(duì)位模組固定板上的榜首固定板滑槽往復(fù)移動(dòng)，該軸承的上方設(shè)置有滑塊，該滑塊沿該滑槽往復(fù)移動(dòng)。

        首先Y方向移動(dòng)設(shè)備包含榜首Y方向移動(dòng)板，榜首Y方向移動(dòng)板與該運(yùn)動(dòng)板經(jīng)過軸承活動(dòng)銜接，榜首Y方向移動(dòng)板的下端面上設(shè)置有滑軌和滑槽，該滑軌沿該對(duì)位模組固定板上的第二固定板滑槽往復(fù)移動(dòng)，該軸承的上方設(shè)置有滑塊，該滑塊沿該滑槽往復(fù)移動(dòng)。

        第二Y方向移動(dòng)設(shè)備包含第二Y方向移動(dòng)板， 第二Y方向移動(dòng)板與該運(yùn)動(dòng)板經(jīng)過軸承活動(dòng)銜接，第二Y方向移動(dòng)板的下端面上設(shè)置有滑軌和滑槽，該滑軌沿該自動(dòng)對(duì)位平臺(tái)模組固定板上的第三固定板滑槽往復(fù)移動(dòng)，該軸承的上方設(shè)置有滑塊，該滑塊沿該滑槽往復(fù)移動(dòng)

        X方向動(dòng)力設(shè)備包含電機(jī)和與該電機(jī)固定銜接的偏心輪，該偏心輪與X方向移動(dòng)板之間經(jīng)過繃簧銜接，該繃簧消除該偏心輪與X方向移動(dòng)板之間的空隙。

         榜首Y方向動(dòng)力設(shè)備包含電機(jī)和與該電機(jī)固定銜接的偏心輪，該偏心輪與榜首Y方向移動(dòng)板之間經(jīng)過繃簧銜接，該繃簧消除該偏心輪與榜首Y方向移動(dòng)板之間的空隙。

        第二Y方向動(dòng)力設(shè)備包含電機(jī)和與該電機(jī)固定銜接的偏心輪，該偏心輪與第二Y方向移動(dòng)板之間經(jīng)過繃簧銜接，該繃簧消除該偏心輪與第二Y方向移動(dòng)板之間的空隙。

       新式有益作用：新式曝光機(jī)的對(duì)位體系XYY組織由一個(gè)X方向的軸向運(yùn)動(dòng)設(shè)備，搭配兩個(gè)Y方向軸向運(yùn)動(dòng)設(shè)備，使自動(dòng)對(duì)位平臺(tái)體系的運(yùn)動(dòng)更為流暢，組織更為安穩(wěn)個(gè)壽數(shù)的使用期，新式推進(jìn)了曝光機(jī)對(duì)位體系的一大步技術(shù)進(jìn)步。